Fortschrittliche Oberflächentechnik: Vakuumbeschichtung
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Inhaltsverzeichnis Was ist eine Vakuumbeschichtung? Grundprinzipien Vakuumumgebung Verdampfung Sputtern Ionenplattieren Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Arten der Vakuumbeschichtungstechnologie Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) Beschichtungen Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Beschichtungen Magnetronsputtern Atomlagenabscheidung…