Fortschrittliche Oberflächentechnik: Vakuumbeschichtung
Inhaltsverzeichnis Was ist eine Vakuumbeschichtung? Grundprinzipien Vakuumumgebung Verdampfung Sputtern Ionenplattieren Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Arten der Vakuumbeschichtungstechnologie Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) Beschichtungen Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Beschichtungen Magnetronsputtern Atomlagenabscheidung…